等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

      等离子清洗机按照作用可以分为四大类，分别是产品表面清洗，产品表面活化，产品表面刻蚀，产 品表面涂层，具体介绍如下：

      1-等离子表面清洗是利用气体电离后产生的等离子体对污染表面进行物理溅射或化学反应的作用分解污染物，分解的产物随着气流被带离表面，从而获取清洁干燥的表面。安全环保，无任何消耗品，成本低，对样品无损害，清洗效果及佳。

      2-等离子表面活化在工艺流程中，如果需要在后续步骤中进行镀膜、喷涂或者粘合，那么，就必须有选择地活化原材料的表面，使其有足够的活性以与涂层材料形成粘合剂粘结。要采用水性油墨印刷、使用不含VOC的粘合剂而实现长效粘合、或者生产复合材料，许多材料的表面张力是远远达不到要求的。采用等离子活化技术，可以有效地改变塑料、金属、纺织品、玻璃、再生和复合材料的表面特性。等离子活化技术能在适当的位置、有针对性地改变材料表面的能量。这样便可显著提高材料表面的润湿能力。印刷、涂覆、粘得牢，等离子活化少不了。

     3-等离子表面刻蚀是半导体制造、微电子IC制造以及微纳制造工艺中的一个重要的步骤，是与光刻相联系的图形化处理的主要工艺。刻蚀狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式进行腐蚀，处理掉所需除去的部分。广义上来讲，刻蚀是通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。

     4-等离子表面涂层是向放电等离子体流中添加特殊的前体使得能够将定制材料层施加到基材上。使用低压等离子体，可以改良基材特性。将气态和液态原料通入到真空室中，等离子体中的原材料、大部分短链单体会互相结合，并形成长链聚合物，从而涂覆在基材表面，形成涂层。运用等离子技术，可以实现许多行业不同用途的需求，而原材料的选择决定了涂层特性：