柜式真空等离子处理机_广赫捷智能装备(苏州)有限公司

柜式真空等离子处理机

一.设备介绍：

等离子电源、抽真空系统、进气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将腔体进行抽真空达到30pa左右的真空度，再在电源作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

二.设备亮点：

2.1 稳定性：确保真空腔体在稳定压力下处理材料，处理均匀性好；

2.2 通用性：处理物几何形状无限制:大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；

2.3环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.4 温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

2.5功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能；

2.6可控性：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

全过程可控工艺：所有参数可自主设置和数据记录，进行工艺质

量控制；

三.处理效果检测方法

3.1水滴角检测

三：测试仪器及方法

3.2达因笔检测

将达因笔垂直于要被测试的材料表面，在表面均匀的画上一条直线，如果连续成直线，没有在5秒内产生收缩现场，则表明该材料表面张力已经达到测试笔的张力值。若果笔头所到的地方断断续续，并凝聚成小水珠，则表明未达到测试笔的张力值

四.技术参数

型号	MF015-01	RF060-06	RF120-08
控制方式	PLC+触摸屏	PLC+触摸屏	PLC+触摸屏
电源频率	40 kHz	13.56 MHz	13.56 MHz
腔体容量	15L	60L	120L
腔体层数	1层	5~10层	6~15层
腔体规格	长宽高380x310x120mm	长宽高500x450x300mm	长宽高500x500x500mm
托板尺寸	/	长宽高380*430x4mm	长宽高380*480x4mm
工作真空度	10-60Pa	10-60Pa	10-60Pa
泵组抽速	20~60 M3/H	20~60 M3/H	20~60 M3/H
工作气体	Ar、N2、H2、CF4、O2 标配2路	Ar、N2、H2、CF4、O2 标配2路	Ar、N2、H2、CF4、O2 标配2路
整机尺寸	长宽高7008001700mm	长宽高11008001700mm	长宽高11009001700mm
主机电源	220VAC,50/60Hz, 2KW	380V/AC,50/60Hz, 3KW	380V/AC,50/60Hz, 3KW
机器重量	300 KG	480 KG	500 KG
额定功率	3.0 KW	3.5 KW	4 KW

5. 主要配置（RF060-06/RF120-08）

序号	类型	参数	说明
1	机台材质	烤漆/镜面不锈钢
2	等离子体发生器组件	射频电源和自动匹配器	美国AE /德国COMET/国产
3	真空泵组件	旋片式真空泵	英国爱德华/国产
4	真空测定组件	电阻式真空计	进口英福康/国产
5	气体计量组件	质量流量控制计	进口/国产七星华创/其它
6	电气组件	知名品牌元器件	施耐德/西门子/台达/维纶

六.应用场景

6.1生物医疗行业


输液管座	胃管等涂层前	医疗器械消毒

6.2纺织及鞋底行业


无纺布印刷前	鞋底清洗	无纺布阻燃前处

6.3 半导体芯片领域


GPU芯片	晶圆	芯片

6.4线路板行业


线路板沉铜前去胶渣	线路板印刷前	软板沉铜及印刷前

6.5其它行业


硅胶	陶瓷	汽车中控屏

航空银膜	聚合体接枝	曲面玻璃

七．安装说明

1	供电电网要求：AC220V,50/60Hz/AC380V,50/60Hz；供电电网波动： ± 5%，电网地线符合国际要求。电压振幅5%以上的地区，应加装自动稳压，稳流装置；
2	工艺气体：Ar、N2、H2、CF4、O2、Air
3	现场准备工艺气体配套2套减压阀
4	某些环境应装防静电地板，加强屏蔽等;

柜式真空等离子处理机

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