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超低温微波等离子处理机
(专利产品，抄袭必究)
广赫捷智能装备（苏州）有限公司
一:微波等离子体概念说明
1.1什么是微波（或微波等离子炬 MPT）？
MPT(Micro wave plasma torch)是一种新的开放结构的等离子体光源，形成的等离子体形状类似一个火炬而被命名为“微波等离子体炬”
1.2什么是等离子体？
国外称PLASMA,台湾称电浆机，国内称等离子体。它是物质的第四态（物质的其它三态分别是固态，液态和气态），是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。当被加热到足够高的温度或其他原因，外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子。这个过程就叫做“电离”。这时，物质就变成了由带正电的原子核和带负电的电子组成的、一团均匀的“浆糊”，因此人们戏称它为离子浆，这些离子浆中正负电荷总量相等，因此它是近似电中性的，所以就叫等离子体。
1.3什么是微波等离子体？
利用微波激发的气体放电而产生的等离子体。如在微波炉中放入金属丝，就会产生放电现象，通称“打火”
二：微波等离子体的优势
2.1无内部电极，可避免放电污染，能量转换效率高，可产生高密度等离子体；
2.2 自偏压极小，使用安全，真正的电中性工艺；
2.3电子密度,制备各种功能薄膜材料的速率较快；
2.4高能粒子冲击小，对器件的损伤小
2.5可调节低温，用于低温处理(小于38度)
三：微波放电频率与其它对比
根据激励等离子体电源放电的频率，可以分为以下几类
1 中频等离子（1KHz~40KHz）
2 射频等离子（13.56MHz、20.68MHz）
3 微波等离子 （915Mhz、2.45GHz）
四：技术参数
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配置 |
类别 |
参数 |
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整机型号 |
/ |
MPT-C1 +P331(连续) /MPT-P1 +P331(脉冲） /MPT-D2+P331（连续+脉冲） |
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微波等离子 |
工作模式 |
连续 /脉冲/连续+脉冲 |
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固态源 |
进口 |
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功率 |
250W /500W/定制 |
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火焰长度 |
25~35mm |
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火焰直径 |
10~25mm |
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火焰温度 |
<40度 |
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输入电源 |
220VAC,50Hz/60Hz |
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频率 |
2.45 GHz |
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工作气体 |
氮气或氩气 |
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设备尺寸 |
W480*L420*H176mm |
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重量 |
20KG（其中等离子炬重1KG） |
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三轴平台（P331) |
控制系统 |
手持式控制系统 |
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运行范围 |
X轴300MM,Y轴300mm,Z轴100MM |
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驱动方式 |
同步带＋步进电机＋精密直线导轨（选配伺服电机+滚珠丝杆） |
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重复精度 |
±0.03mm-0.05mm(选配±0.02mm) |
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输入电源 |
220VAC,50HZ |
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最高速度 |
500mm/S(最大可定制800mm) |
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机器功率 |
350W |
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最大负载 |
X轴：5㎏ /Y轴：5㎏ /Z轴：3㎏ |
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设备尺寸 |
L520mm*W585mm*H600mm |
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机器重量 |
40KG |
五：应用行业
半导体，医疗，新材料（铁氟龙，TPU,硅胶）等
六：安装说明
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1 |
供电电网要求：AC220V,50Hz；供电电网波动： ± 5%，电网地线符合国际要求。电压振幅5%以上的地区，应自主加装自动稳压，稳流装置； |
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2 |
现场要配有氮气 |
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3 |
机器需要接地，某些环境应装防静电地板和加强屏蔽; |
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